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      等静压石墨直拉单晶硅热场和多晶硅铸锭炉用加热器

      作者:jcadmin 发布时间:2020-09-17 14:19:19

      等静压石墨是上世纪60年代发展起来的一种新型石墨材料,具有一系列优异的性能。譬如,等静压石墨的耐热性好,在惰性气氛下,随着温度的升高其机械强度不但不降低,反而升高,在2500℃左右时达到最高值; 与普通石墨相比,结构精细致密,而且均匀性好; 热膨胀系数很低,具有优异的抗热震性能; 各向同性; 耐化学腐蚀性强,导热性能和导电性能良好; 具有优异的机械加工性能。

      正是由于具有这一系列的优异性能,等静压石墨在冶金、化学、电气、航空宇宙及原子能工业等领域得到广泛应用,而且,随着科学技术的发展,应用领域还在不断扩大。

      在直拉单晶硅热场中,等静压石墨部件有坩埚、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转坩埚用的底座、各种圆板、热反射板等约30种。

      其中,80%的等静压石墨用于制造坩埚和加热器等。 近年来,对单晶硅棒的直径要求越来越大,300 mm晶片的生产日益成为主流。

      与此相应,单晶炉加热区的直径大多为800 mm,炉内的石墨坩埚为了保 护放置其中的石英坩埚,直径达到了860 mm,加热器直径约960~1000 mm,其他部件的直径有的最大达到了1500 mm。

      从2003年开始,人们对地球居住环境的保护意识逐渐增强, 人们越来越青睐不排放二氧化碳的自然能源。在这种趋势下,太阳能电池的生产急增。

      在太阳能电池多晶硅片的制造过程中,首先要将多晶硅碎块熔铸成多晶硅方锭。其中铸锭炉的加热器需要用等静压石墨来制作。

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